nanolithography

　　纳米平板印刷术是微观级的蚀刻、书写或者印刷的艺术和科技，它们的字的大小能用纳米（10的负9次方米，或者百万分之一毫米）来衡量。制造原子级别的集成电路(ICs)时有几种方法可以在原子级修改半导体芯片。纳米平板印刷术使用的工具有扫描探针显微镜(SPM)和原子力显微镜 (ATM)。SPM能在不经过修改的情况下高清晰的进行表面观察。SPM或ATM可以用于在单原子大小表面的蚀刻、书写或者印刷。也可参看纳米机械和纳米技术。